Ĉemŝunoalumina oblato polurplato/turnebla tablo estas farita el alta pureco 99,7-99,9% alumino. Altpureca alumino-ceramikaĵo havas elstaran rigidecon kaj bonegan eluziĝreziston por polurado de vaflaĵoj kaj konservas bonan surfacformon dum longa tempo. Ĝi estas formita per PIBM. Ĝi estas membro de la duonkonduktaĵa industrio pro sia senkompara termika kaj dimensia stabileco kaj rezisto al severaj mikroĉipaj prilaboraj ekipaĵaj medioj.
Kemia-Mekanika Planarigo (KMP), ankaŭ konata kiel Kemia-Mekanika Polurado, estas teknologio en la fabrikada procezo de duonkonduktaĵaj aparatoj. Ĝi uzas kemian korodon kaj mekanikajn fortojn por ebenigi siliciajn obletojn aŭ aliajn substratajn materialojn dum prilaborado.
CMP-ekipaĵo estas ĉefe dividita en du partojn: poluran parton kaj purigan parton. La polura parto konsistas el 4 partoj, nome 3 poluraj turnplatoj kaj modulo por ŝarĝi kaj malŝarĝi la sigelojn. La puriga parto respondecas pri la purigado kaj sekigado de la sigeloj por atingi la "sekiĝon kaj el-sekiĝon" de la sigeloj. En la tuta polura ekipaĵo, alumino-teraj ceramikaĵoj ludas gravan rolon.
Alumino-terceramikaĵoj estas kutime uzataj por prepari oblatajn polurdiskojn, kiuj postulas altan purecon, altan kemian daŭrivon, kaj bonan kontrolon de surfacformo kaj krudeco.
La ceramika mueldisko Chemshun 99.7% Al2O3 estas farita el progresintaj ceramikaj materialoj, taŭgaj por fajna muelado de diversaj materialoj, precipe por muelado de fragilaj materialoj kiel ekzemple oblatoj, ceramiko kaj vitro. Nia ceramika mueldisko povas esti farita en malsamaj grandecoj laŭ malsamaj modeloj de muelado kaj polurado.
Afiŝtempo: 30-a de majo 2025